Установка одностороннего совмещения и экспонирования 800 FSA (OAI)
14 сентября 2018
428
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | США |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Обеспечивает высокую точность совмещение 1-2 мкм. Система, ее конструкция, принцип действия и составные модули и части специально разработаны и скомпонованы таким образом, чтобы значительно превзойти по своим характеристикам и цене любое сопоставимое литографическое оборудование данного типа. Такая универсальная установка совмещения с маской модели OAI 800FSA идеально подходит для работы в технологическом процессе мелкосерийного производства, научно-исследовательских лабораториях и университетах.
