Установка совмещения с маской для образцов большой площади 5000E (OAI)
14 сентября 2018
649
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | США |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Полностью автоматизированная система совмещения с маской и экспонирования, которая обеспечивает прецизионную точность совмещения с лицевой стороны и разрешение уровня субмикрона для больших плоских панелей и дисплеев. Благодаря гибкой и модульной конструкции оборудование позволяет работать с различными подложками как круглыми, так и квадратными, размерами до 300 мм или 20”x20”. Подсистема экспонирования совместима с фоторезистами имеющими чувствительность в ближнем, среднем или дальнем УФ диапазоне и обеспечивает управляемое компьютером светодиодное освещение микроскопа для визуализации изображения в далеких от идеальных условиях просмотра.