Установка двухстороннего совмещения и экспонирования 6000BSA (OAI)
14 сентября 2018
506
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Санкт-Петербург |
| Страна производства | США |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Предназначена для производства полупроводниковых структур и приборов, MEMS, датчики и микрофлюидика, IOT и т.д. Система укомплектована передовой оптикой подсистемы экспонирования с однородностью лучше, чем ±3% и производительностью 180 пластин в час. Модель 6000 может работать с большим разнообразием пластин и масок: от толстых и до пластин сращенных с подложкой (до 7000 мкм), деформированными пластинами, тонкими пластинами (до 100 мкм) и толстыми слоями фоторезистов.