3D оптический профилометр-конфокальный микроскоп S neox (Sensofar)

Предназначен для получения быстрых неинвазивных измерений микро и нано-геометрии поверхностей различных конфигураций. Эта система с технологией двойного сенсора очень удобна для научно-исследовательской деятельности и лабораторного анализа качества. Позволяет производить быстрое конфокальное сканирование за менее чем 10 секунд. Благодаря использованию технологии с отсутствием движущихся частей, компактным размерам и надежной модульной конструкции S neox является отличным аналитическим инструментом. Может быть оснащен спектроскопическим рефлектометром для обеспечения возможности измерения тонких пленок. Возможно измерение до 10-ти слоев пленок в диапазоне от 50 до нескольких микрон. (измерение SiO2, Фоторезиста).