Комбинированная установка для нанесения и сушки фоторезиста SM-200/HP-200 duo (Sawatec)
14 сентября 2018
631
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Швейцария |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Комбинированная система SM-200/HP-200 duo от SAWATEC сочетает в себе модуль центробежного нанесения покрытия и нагревательную плиту. Устройства линейки Duo демонстрируют убедительные рабочие качества благодаря своей надежной конструкции и гибким возможностям совмещения с другими системами даже при обработке подложек разных размеров.
Основные возможности:
До 50 программ с 24 программируемыми шагами в каждой.
Функция быстрого запуска для повторных процессов.
Простая и доступная конфигурация с помощью сенсорной панели.
Технологические параметры: скорость, ускорение, время.
Возможность выбора направления вращения (по часовой стрелке, противчасовой стрелки).
Система RCCT (круглой закрытой камеры).
Динамический манипулятор для работы с 4 линиями подачи материала.
Загрузка и разгрузка подложек вручную.
Фиксация подложки с помощью вакуума и защитных блокировок.
Звуковой сигнал после завершения обработки.
Контроль температуры с помощью цифровых меток и дисплея с фактическими значениями.
Автоматический датчик температуры, отсутствие перегрева.
Доступно постепенное наращивание нагрева (20 шагов программы).
Зазор и загрузочные штифты программируются под разные размеры подложек.
Основные возможности:
До 50 программ с 24 программируемыми шагами в каждой.
Функция быстрого запуска для повторных процессов.
Простая и доступная конфигурация с помощью сенсорной панели.
Технологические параметры: скорость, ускорение, время.
Возможность выбора направления вращения (по часовой стрелке, противчасовой стрелки).
Система RCCT (круглой закрытой камеры).
Динамический манипулятор для работы с 4 линиями подачи материала.
Загрузка и разгрузка подложек вручную.
Фиксация подложки с помощью вакуума и защитных блокировок.
Звуковой сигнал после завершения обработки.
Контроль температуры с помощью цифровых меток и дисплея с фактическими значениями.
Автоматический датчик температуры, отсутствие перегрева.
Доступно постепенное наращивание нагрева (20 шагов программы).
Зазор и загрузочные штифты программируются под разные размеры подложек.