Атомно-силовой микроскоп Demension V (Veeco)
14 сентября 2018
302
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | США |
| Год производства | 2014 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 8 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Реализует методы микроскопии и диагностики, доступные с имеющимся набором модулей: атомно-силовая (АСМ), поперечно-силовая, магнито-силовая (МСМ), емкостная, микроскопия сопротивления растекания, проводящая атомно-силовая, электро-силовая; а так же силовые измерения, оксидная литография, наноиндентирование. Разрешение по вертикали - 1нм; область сканирования - до 90 мкм. Для получения изображений используются кремниевые зонды с диаметром острия около 18 нм.