Компактная система сухого плазменного травления SI 591 Compact (SENTECH)
14 сентября 2018
493
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Система оборудована загрузочным шлюзом и высоко-производительной откачной системой, предназначенная для использования в НИОКР. ОПЦИИ: insitu эллипсометр, лазерный интерферометр, OES спектрометр, PE электрод и др. Размер подложек до 8’’ (Ø 200 мм). Генератор 13,56 МГц, 600 Вт. Вакуум < 10-5 мбар. Газовые линии с РРГ до 16 шт. Размер корпуса реактора 655(Ш) × 1 050(Г) × 1 400(В) мм.