Эксимерный лазер с большой частотой повторения импульсов ArF-KrF-XeF (Тринити)

Применяется там, где необходимо получение высокой точности обработки с разрешением до 40 мкм и без значительного нагрева обрабатываемого материала. Лазерный отжиг при производстве тонкоппленочных транзисторов (TFT) для плоских цветных экранов большого размера с высоким разрешением. Микролитография при производстве микропроцессоров и микросхем памяти. Поверхностная обработка для улучшения свойств материалов особенно существенных в автомобильной, авиационной промышленности и в производстве медицинского оборудования. Микрообработка материалов методом лазерной абляции и модификация поверхностной структуры, например, при лазерном сверлении сопел струйных принтеров или в технологии производства больших интегральных схем. Изготовление брегговских решеток, которые являются наиболее широко используемым элементом в оптоволоконных линиях связи. Маркировка изделий из керамики, стекла, полимеров, фторопластов, кристаллов путем удаления материала или фотохимическая маркировка за счет изменения цвета. Очистка изолированных проводов в производстве электронных приборов. Медицинские применения, такие как лазерная хирургия, коррекция зрения, кожных заболеваний, лечение зубов и т.д. Измерительная техника – индуцированная лазерная флюоресценция.