Двухреакторная кластерная система вакуумно-плазменного травления СБИС Plasmalab System 100 (Oxford Instruments)
14 сентября 2018
519
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Великобритания |
| Год производства | 2014 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | от 15 000 руб. |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для решения широкого круга задач плазменного травления и осаждения. Обрабатывают пластины до 200 мм. Предлагает гибкие и производительные решения для организации исследовательских работ, мелкосерийного и серийного производства. Подача подложки или карьера в камеру осуществляется через вакуумный шлюз с ручной загрузкой. Вакуумный шлюз может располагаться в габарите рамы установки или быть вынесен «сквозь стену» в помещение чистой комнаты. Последний вариант исполнения существенно экономит пространство чистой комнаты и снижает затраты на ее эксплуатацию. Основной модуль установки полностью совместим по стандарту MESC. Поэтому модули Plasmalab могут использоваться в кластерной системе серии System 100 Pro или других кластерных системах совместимых со стандартом MESC.