Атомно-зондовый томограф с высоковольтным импульсным испарением атомов ECOTAP (Cameca)

Предназначен для исследования структуры вещества на атомарном уровне. Детектор представляет собой комбинацию микроканальной пластины, системы стрипов, люминофора и цифровой CCD-камеры. Детектор регистрирует около 50% прилетевших ионов. При попадания иона на детектор происходит определение времени пролета и регистрируется место, куда попал ион. По этим данным определяется отношение массы к заряду (соответственно, химическая природа атома) и положение иона в момент отрыва с поверхности образца. Наличие рефлектрона позволяет компенсировать разницу во времени пролета ионов, испаренных в начале и в конце импульса [22, 23]. В рабочем объеме поддерживается вакуум (5÷7)×10−10 Торр, температура образца может составлять 13-100 K. Размер исследуемой области составляет 17×17×200 нм, при этом количество зарегистрированных атомов находится в пределах (3÷7)×105 атомов. Обработка данных эксперимента проводится на рабочих станциях с использованием специальных программ, восстанавливающих исходную 3D структуру испаренного образца и анализирующих особенности расположения атомов (например, поиск различных выделений).