Сканирующий ионный электронный микроскоп ORION NanoFab (Carl Zeiss)

Обеспечивает получение субнанометрового разрешения. Благодаря минимально возможному размеру источника ионов, который представляет собой одиночный атом вольфрама, теоретический предел разрешения составляет 0,25 нм. Малый угол сходимости пучка обеспечивает большую глубину резкости, что, в сочетании с высоким разрешением, позволяет получить высокое качество изображения. Большая масса ионов по сравнению с электронами существенно уменьшает влияние дифракции и увеличивает сечение рассеяния на атомах исследуемого материала, благодаря чему увеличивается контраст по атомному номеру, как в режиме регистрации вторичных электронов, так и при регистрации обратно-рассеянных ионов. Другой особенностью ионного сканирующего микроскопа является малый ток пучка, на три порядка меньший, чем типичный ток пучка электронного микроскопа. Это позволяет избежать негативных последствий, связанных с изменениями, происходящими в образце под действием пучка и уменьшить влияние зарядки поверхности не проводящих образцов. Кроме того, предусмотрена система компенсации заряда поверхности электронным пучком, которая позволяет работать с диэлектриками, практически без потери качества изображения.