Автоэмиссионный растровый электронный микроскоп ULTRA 55 (Carl Zeiss)

Предназначен для получения изображений рельефа поверхности с одновременным отображением композиционного контраста в нанометрическом масштабе. Используются три интегрированные системы детектирования сигнала: Встроенный в линзовую систему детектор вторичных электронов (In-lens SE) для изучения топографии поверхности на предельных разрешениях; Встроенный в колонну детектор обратно рассеянных электронов с селекцией по энергии выхода (EsB), дающий картины поверхности с отображением химического контраста на сверхразрешениях; Встроенный в колонну детектор обратно рассеянных электронов с селекцией по углу выхода (AsB), используемый для изучения композиционного контраста и получения картин ориентации кристаллов. С помощью микроскопа Zeiss ULTRA получают уникальные по разрешению и выдающиеся по качеству изображения: топологии поверхности, композиционного контраста поверхности, карты разориентации кристаллов и карты ориентации магнитных доменов.