Высокопроизводительный электронно-лучевой литограф VOYAGER (Raith)
14 сентября 2018
661
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
Описание
Обеспечивает работу на подложках до 200 мм. Рекомендован в областях, связанных как с серийным производством, так и с научно-исследовательскими работами, где требуется высокая производительность и максимум пространственного разрешения. Инновационная архитектура и высокие показатели спецификации разработаны для получения точных результатов при высокой скорости экспонирования и при весьма низкой стоимости владения прибором. VOYAGER, таким образом, снижает барьер для доступа в сферу профессиональной, ориентированной на высокую производительность электронно-лучевой литографии.
| Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
|---|---|---|---|
| Вакуумная установка резистивного и электронно-лучевого испарения с холловским ионным источником Amod 206 (Angstrom) | Канада | Аренда, Заказ исследования | Нижний Новгород |
| Установка импульсная электронно-пучковая РИТМ-СП | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Система электронно-лучевого и термического испарения для нанесения металлов BAK 501 (EVATEC) | Швейцария | Аренда, Заказ исследования | Воронеж |
| Установка электронно- лучевой литографии CABL- 9050C (CRESTEC) | Япония | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Электронно-лучевой генератор изображения SB 350 B (Vistec) | Германия | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Комплекс лучевой терапии ИЯИ РАН Комплекс установок протонной и лучевой терапии (Специализированные) | Германия | Аренда, Заказ исследования | Москва |