Установка совмещения и экспонирования MA6/BA6 (Suss Microtec)
14 сентября 2018
273
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Предназначена для всех стандартных литографических процессов с пластинами до 150 мм. Высокое разрешение, двустороннее совмещение, автоматизация позволяют использовать данную установку для разработки процессов, предназначенных к внедрению в серийное производство, а также для производства средней серии. Особенности: совмещение сверху/снизу и ИК; точное установление зазора; высококачественная оптика с уменьшением дифракции позволяет достичь высокого разрешения; оптимальное качество края при толстом резисте; надёжное субмикронное разрешение; возможность работы с хрупкими пластинами и кусочкамипрецизионный модуль фиксации (и безфиксационная опция) совмещённых пластин для бондинга; опция для наноимпринтной литографии; опция Голографии ближнего поля для создания двухмерных оптических структур; работа с пластинами от 2 дюймов до 150 мм (подложки 2×2 до 6×6 дюймов).