| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Испания |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Предназначена для совмещения и экспонирования шаблонов ИМС. Установка программируется управляющим контроллером, обеспечивающим установку параметров работы, работу установки в цикличном режиме, предупреждения о возможных ошибках и отображение информации на ЖК-индикаторе. Стол совмещения фотошаблона расположен в сдвижном модуле. Держатель шаблона с вакуумным прижимом, подходит для стеклянных и пленочных фотошаблонов. Система совмещения имеет точность ±5 мкм, обеспечивающая контактный метод наложения шаблона и подложки.
