Растровый электронный микроскоп JXA-6400 (Jeol)

Позволяет визуализировать образцы с увеличением до х400 в оптическом диапазоне и наблюдать реальные цвета различных участков образца (поскольку изображение во вторичных электронах не несет информации о цвете). Одной из самых важнейших характеристик является стабильность электронного зонда по положению и току. Стабильность по току обеспечивает точность микроанализа и составляет полторы десятых доли процента в течение одного часа. Это необходимо, поскольку при работе волновых спектрометров спектр накапливается последовательно, и колебания тока могут привести к такой же неточности при расчете концентрации элементов. В обычных растровых электронных микроскопах с аналитическим приставками таких жестких требований на электронный зонд не накладывается, поэтому на них нельзя получить точных данных микроанализа.