Трехкоординатный плоскопараллельный сканер для СЗМ приложений Ratis SPM XYZ (Nano Scan Tech)

Плоскопараллельное устройство позиционирования и/или сканирования. Сканер представляет собой монолитное металлическое тело (из высококачественного сплава, обычно алюминиевого), в котором электроэрозией и другими методами прецизионной обработки сформированы каналы для пьезокерамических актюаторов, подвижные элементы столика и т.п. Такая конструкция обеспечивает отличную линейность и плоскостность перемещения, в отличие от классических сканеров на основе пьезотрубок, поверхностью сканирования в которых является сфера. Кроме того, плоскопараллельные сканер обладает высокой механической прочностью по сравнению с хрупкими пьезотрубками. Уникальная автоматическая система термостабилизации и калибровки позволяет использовать плоскопараллельный сканирующий столик в температурном диапазоне ±40°C.