Аналитический сканирующий микроскоп SU70 (Hitachi HT)

Источником электронов этого микроскопа служит полевой катод Шоттки. В приборе реализован разумный компромисс, который позволяет, сохраняя высокое разрешение, использовать многочисленные аналитические методики сканирующей электронной микроскопии: EDX, WDX, EBSP, STEM (TE), CL. Применение методики торможения электронов (Deceleration) даёт возможность понизить энергию электронного зонда до 100эВ, сохраняя высокое разрешение. Особое внимание заслуживает способность микроскопа работать в двух режимах, которая реализована с помощью методики FieldFreeMode. Объектив микроскопа имеет две обмотки. Когда задействована одна обмотка, микроскоп работает как out-lens, включение другой обмотки переводит его в работу в режим semi-in-lens. В out-lens режиме микроскопу доступны магнитные образцы и возможность использовать аналитическую приставку электронной дифракции EBSD.