Растровый электронный микроскоп JIB-4501 Multibeam (Jeol) с ионной пушкой для микротравления

Обеспечивает высокую производительность в различных вариантах применения, от наблюдения образцов до их ионного микротравления. Большой ионный ток травления. Повышенная производительность при большой площади травления (максимальный ионный ток травления 30 нА). Высокоразрешающая электронная (LaB6) и ионная оптика. Обеспечивает получение стабильного изображения для травления/мониторинга процесса травления через длительные интервалы времени. Изображение и микроанализ в отсутствие зарядки образцов. Наличие стандартной низковакуумной системы для исследования непроводящих образцов. Система фигурного ионного травления. Позволяет проводить фигурное напыление и травление в соответствие с данными бинарного изображения, записанными в виде BMP-файла. Поддерживает режим трехмерного нанотравления с непрерывным доступом к многочисленным данным, записанных в виде файлов изображений. Стандартная шлюзовая система для быстрой и простой загрузки образцов в камеру образцов без нарушения вакуума. Обеспечивает быструю загрузку образцов через шлюз. Максимальный размер загружаемого через шлюз образца: пластина диаметром 150 мм.