Растровый электронный микроскоп высокого разрешения JIB-4600F Multibeam (Jeol) с ионной пушкой для микротравления

Обеспечивает высокую производительность в различных вариантах применения, от наблюдения образцов до их ионного микротравления. Высокоразрешающая электронная (LaB6) и ионная оптика. Обеспечивает получение стабильного изображения для травления/мониторинга процесса через длительные интервалы времени. Изображение и микроанализ в отсутствие зарядки. Наличие стандартной низковакуумной системы для исследования непроводящих образцов. Система фигурного ионного травления. Позволяет проводить фигурное напыление и травление в соответствие с данными бинарного изображения, записанными в виде BMP-файла. Поддерживает режим трехмерного нанотравления с непрерывным доступом к многочисленным данным, записанных в виде файлов изображений. Стандартная шлюзовая система для быстрой и простой загрузки в камеру без нарушения вакуума. Максимальный размер загружаемого через шлюз образца: пластина диаметром 150 мм. Эффективная подготовка тонких фольг оптимальной толщины для просвечивающего электронного микроскопа. Полный набор портов для установки всех видов приставок. Большой столик позволяет проводить травление образцов диаметров до 76 мм.