Микроскоп сканирующий электронный S-3400N (HITACHI)

Аналитический прибор, способный демонстрировать высокое разрешение в широком диапазоне ускоряющих напряжений и давлений остаточного вакуума в камере {режим VP-SEM). Микроскоп оснащен термоэмиссионным вольфрамовым катодом. Рабочая камера имеет 10 портов (фланцев) для подключения дополнительного оборудования. Разрешение 3 нм (глубокий вакуум) и 4 нм (при 270 Па). Моторизованный столик образца с возможностью перемещения по 5 осям, наклоном образца от -20 до 90 градусов. Можно исследовать образец до 80 мм высотой. Новый дизайн камеры образца оптимизирован для одновременной установки и использования EDS, WDS и EBSD детекторов. Полная автоматизация всех функций (автоматическое насыщение катода, авто фокус, автоматическая регулировка луча по осям и другие). Турбомолекулярный насос позволяет сократить время необходимое для замены образца до 90 секунд и делает ненужным водяной контур.