Установка магнетронного распыления "Катод-1М" (ИЭФ РАН)
14 сентября 2018
697
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 1993 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для напыления объектов с помощью ВЧ магнетронного распыления. Прибор может быть применён для исследований в области физики, химии, биологии, медицины и других областях науки и техники. Остаточное давление в высоковакуумном объёме при охлаждении ловушки жидким азотом 1,3–3 Па. Температура нагрева подложкодержателей 250 0С. Напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя 1,3 кВ. Максимальный ток тлеющего разряда 3 А. Потребляемая мощность, не более 10 кВт.