| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2011 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Визуализация и исследование геометрического рельефа, поляризационных и физических свойств (анизотропия, показатель преломления, фазовый состав, механическое напряжение) кристаллических и полупроводниковых наноструктур, нанодинамики их изготовления. Применение: фундаментальные и прикладные исследования в микроэлектронике; технологический и выходной контроль качества микроэлектронной продукции ( в т.ч. контроль качества сверхгладких подложек ИС,контроль топологии ИС на стадии травления, обнаружение дефектов тонких пленок), анализ динамики пьезоэлементов, жидких кристаллов, MEMS; исследование структур, находящихся под прозрачным покрытием ( в толще исследуемого объекта).
| Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
|---|---|---|---|
| Спектральный оптический когерентный микроскоп Michelson Diagnostics | Великобритания | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
| Микроскоп для исследования поверхности оптическими методами ЛВ-31 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Пенза |
| Интерференционный микроскоп-нанопрофилометр МНП | РФ | Аренда, Заказ исследования | Новосибирск |