Система плазменного реактивно-ионного травления и обработки поверхности фотошаблона Corial 300S (CORIAL)

Предназначена для изготовления фотошаблонов. Размеры камеры и широкий ассортимент держателей позволяют загружать подложки габаритами от 2 "x 2" до 8 "x 8". Конструкция Corial 300S включает в себя большой катод, который облегчает загрузку подложки и обеспечивает высокую скорость травления хрома вместе с высокой селективностью к фоторезисту. Держатели подложки просто размещаются на катоде без необходимости прижимных винтов или крепежных элементов. Эта простая в использовании система RIE с ручной загрузкой может травить широкий спектр материалов, необходимых для изготовления устройств MEMS, включая кремний, соединения кремния, металлы и полимеры с использованием фторированных газов. Установка вмещает следующие партии подложек 7 X 4 "или 3 X 6". Система Corial 300S может быть модернизирована технологической камерой следующего поколения RIE, предназначенной для травления и / или тонкопленочного распыления, с любым типом подложки диаметром до 300 мм.