Растровый электронный микроскоп Quanta 200 (FEI)

Микроскоп имеет двухступенчатую систему откачки (безмаслянный турбомолекулярный и форвакуумный насосы). Вакуумная система микроскопа имеет три режима: высокий вакуум, низкий вакуум и ESEM (естественная среда). В первом режиме камера образца откачивается до давления ниже 10-4 Торр (предельное наблюдаемое значение 5*10‑6 Торр). Для исследования заряжающихся объектов можно использовать режимы низкого вакуума и ESEM. При работе в данных режимах в колонне поддерживается высокий вакуум, а в камере объектов давление можно изменять в пределах от 0.1 до 30 Торр (от 13 до 4000 Па) путем введения в камеру водяного пара из резервуара через специальный впускной патрубок.