Полуавтоматическая система проявления и промывки SUSS AD12

Полуавтоматическая система для жидкостной обработки AD12 от компании SUSS MicroTec обеспечивает превосходные возможности промывки и проявления при работе с водно-щелочными материалами. Рабочая платформа обслуживает заготовки и полупроводниковые пластины размером до 300 мм, квадратные подложки размером до 230 мм x 230 мм и рамки с лентой размером до 300 мм.

Основные возможности:
Водно-щелочное проявление;
Очистка пластин;
Полупроводниковые пластины до 300 мм;
Подложки до 230 мм x 230 мм;
Пластины размером до 300 мм, установленные на ленту-носитель с фиксирующей рамкой;
Веерное распыление;
Налив растворов лужей;
Высоконапорные сопла;
Бинарные сопла;
Ультрозвуковой преобразователь.