Установка нанесение фоторезиста центрифугированием SM 200 (Sawatec)
14 сентября 2018
491
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Швейцария |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Предназначена для нанесения фоторезистов на пластины до 200 мм (возможно исполнение до 600 мм). Особенности: фиксация подложки вакуумом с блокировкой
мотора при потере вакуума; лёгкая и быстрая замена держателей без специальных инструментов; процессный блок в модульном исполнении для простоты очистки; автоматическая подающая система с дозирующей помпой для плотностей до 800 сантипуаз (опционально до 50’000 сантипуаз); автоматическое распознавание размера держателя с автоматическим ограничением скорости
вращения.
мотора при потере вакуума; лёгкая и быстрая замена держателей без специальных инструментов; процессный блок в модульном исполнении для простоты очистки; автоматическая подающая система с дозирующей помпой для плотностей до 800 сантипуаз (опционально до 50’000 сантипуаз); автоматическое распознавание размера держателя с автоматическим ограничением скорости
вращения.