Термополевой растровый электронный микроскоп высокого разрешения JIB-4610F (JEOL)

Двулучевая система, представляющая собой термополевой растровый электронный микроскоп высокого разрешения, оснащенный мощной ионной пушкой. Прибор может одновременно быть использован и в режиме РЭМ, и в режиме ионного микроскопа или системы ионного травления. Стабильная, надежная электронно-оптическая колонна обеспечивает высокое разрешение (1,2 нм при 30 кВ в режиме регистрации вторичных электронов) и позволяет анализировать морфологию объектов наномира. Термополевой катод обеспечивает высокие и стабильные токи пучка, что позволяет проведение экспериментов, требующих высоких токов пучка (элементного анализа с использованием спектрометра с волновой дисперсией, получения картин дифракции отраженных электронов, катодолюминесцентных исследований и т.п.).