| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Система обеспечивает выполнение всех процессов жидкостной химической обработки в технологиях производства МЭМС, полупроводников, солнечных батарей. Система работает работа с PIR, PHO, KOH, HF, SC1/2; очистка пластин: ультразвуковая, мегазвуковая ванна; промывка пластин: стоп-ванна, ванна быстрого отмыва; сушка пластин: центробежная отмывка и сушка
пластин, сушки в изопропиловом спирте.
пластин, сушки в изопропиловом спирте.
