| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | США |
| Год производства | 2010 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | до 500 000 тыс. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначен для: измерения шероховатости поверхности, измерения высоты ступенек, планарности и прогиба пластин, деформаций, возникающих при нанесении тонких пленок, контроля качества микросхем и мелко-траншейной изоляции. Позволяет увеличить толщину образца до 6 дюймов, длину скана – до 55 мм, максимальную высоту рельефа – до 512. Повторяемость измерений высоты ступени улучшена до 6 Ангстрем.
| Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
|---|---|---|---|
| Спектрометрический комплекс PHOIBOS-150 (SPECS) для исследования поверхности | Германия | Аренда, Заказ исследования | Владивосток |
| Профилометр"Абрис ПМ7" | РФ | Аренда, Заказ исследования | Курск |
| Профилометр Surfest SJ 201 (Miyutoyo) | Япония | Аренда, Заказ исследования | Якутск |
| Профилометр-контурограф | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Сканирующий оже-электронный профилометр МР-2000 (Riber) | Франция | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
| Профилометр | Великобритания | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Профилометр Si-301 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Самара |
| Профилометр 170662 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Профилометр модели 130 модель 301 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Профилометр модели 130 модель 301 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Мурманск |
