Установка проявления фоточувствительных паст Muckett SC-XK (Hibridas)
14 сентября 2018
523
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Испания |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Установка проявления фоточувствительных паст функционирует по принципу абразивно-химического воздействия, и формирует топологию гибридной схемы после воздействия ультрафиолетового излучения на фоточувствительную пасту. Семейство установок состоит из трех моделей от SC-4K (для подложек размером до 100 х 100 мм) до SC-10K (для подложек размером до 250 х 250 мм). Базовая установка включает от одной до трех микрофорсунок для атомизации и распыления проявляющего состава. Программируемая скорость вращения консоли с форсунками составляет 500 ... 3000 об/мин. Программируются также давление подачи раствора через форсунки, время цикла, положение форсунки. Подбор параметров позволяет достичь высокого разрешения с шириной дорожек от 10 мкм.