Вакуумная установка термокомпрессионной сварки ВУТС 700 (СКБ ИРЭ РАН)
14 сентября 2018
791
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | РФ |
| Год производства | 2017 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Нет |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для проведения процессов термокомпрессионной сварки полупроводниковых структур со стеклянными подложками. Состав установки: вакуумная камера с металлокерамическими нагревателями; опорный пьедестал; устройство задания усилия термокомпрессии; система высоковакуумной откачки на основе турбомолекулярного и мембранного насосов; система охлаждения фланцев камеры; система линейного перемещения вакуумной камеры над опорным пьедесталом (для загрузки свариваемых изделий); система питания и автоматического управления. Система высоковакуумной откачки работает в автоматическом режиме. Нагрев, остывание и поддержание заданной температуры в камере осуществляются в автоматическом режиме по программе.
| Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
|---|---|---|---|
| Установка атмосферно-вакуумного фракционирования 24-100 (B/R) | США | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Высоковакуумная установка SPECS Surface (Nano Analysis GmbH) | Германия | Аренда, Заказ исследования | Казань |
| Компрессорная установка CD-9 | Германия | Аренда, Заказ исследования | Красноярск |
| Вакуумная напылительная станция JEE-420D (Jeol) | Япония | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
| Вакуумная напылительная установка MagSput-DC-RF (Torr Instruments) | США | Аренда, Заказ исследования | Москва |