Вакуумная установка термокомпрессионной сварки ВУТС 700 (СКБ ИРЭ РАН)
14 сентября 2018
499
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
Страна производства | РФ |
Год производства | 2017 |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 10 млн руб |
Стоимость предоставления услуг | договорная |
Регламент предоставления услуги | — |
Объект коллективного пользования | Нет |
Наличие аккредитации | Нет |
Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Предназначена для проведения процессов термокомпрессионной сварки полупроводниковых структур со стеклянными подложками. Состав установки: вакуумная камера с металлокерамическими нагревателями; опорный пьедестал; устройство задания усилия термокомпрессии; система высоковакуумной откачки на основе турбомолекулярного и мембранного насосов; система охлаждения фланцев камеры; система линейного перемещения вакуумной камеры над опорным пьедесталом (для загрузки свариваемых изделий); система питания и автоматического управления. Система высоковакуумной откачки работает в автоматическом режиме. Нагрев, остывание и поддержание заданной температуры в камере осуществляются в автоматическом режиме по программе.
Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
---|---|---|---|
Высоковакуумная установка SPECS Surface (Nano Analysis GmbH) | Германия | Аренда, Заказ исследования | Казань |
Установка атмосферно-вакуумного фракционирования 24-100 (B/R) | США | Аренда, Заказ исследования | Москва |
Компрессорная установка CD-9 | Германия | Аренда, Заказ исследования | Красноярск |
Вакуумная напылительная станция JEE-420D (Jeol) | Япония | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
Вакуумная напылительная установка MagSput-DC-RF (Torr Instruments) | США | Аренда, Заказ исследования | Москва |