Описание
Позволяет определять количество, положение и размеры частиц, царапин, матовости поверхности (HAZE) и иных светорассеивающих дефектов на поверхности полупроводниковых пластин, структур кремний-на-сапфире (КНС) и пластин сапфира. Сканирование осуществляется по спирали за счет перемещения оптической головки по дуге окружности относительно вращающейся пластины. Анализаторы частиц подключаются к внешнему компьютеру через USB порт без помощи дополнительной аппаратуры. Программное обеспечение приборов работает c операционной системой Windows 10.