Описание
Используется в таких сложных процессах, как полупроводники, солнечные модули и производство плоских экранов, а также в многочисленных промышленных областях нанесения покрытия. Компактная конструкция упрощает установку даже в ограниченном пространстве. Обеспечивая самую высокую скорость в своем классе, эти насосы предлагают самую большую пропускную способность (даже для водорода) и расширенные допуски для частиц. Предельное остаточное давление: 0,001 - 0,03 hPa (mbar). Номинальная производительность 50 Hz: 70 - 7385 m³/h. Номинальная производительность 60 Hz: 85 - 7385 m³/h.
