| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Германия |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
Описание
Предназначен для измерения толщины пленок, оснащенный микроспотом (microspot) для измерений на пластине с топологией (patterned wafer). Размер пятна для эллипсометрических измерений 100 х 100 мкм2. Программное обеспечение для распознавания образов (pattern recognition) в сочетании с программным обеспечением для картирования (mapping software) обеспечивает возможность измерение на пластинах с топологией. Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления как единичных слоев так и многослойных пленок в производстве.