Система плазмохимического травления 210IL, Corial
28 мая 2019
391
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Франция |
| Год производства | 2018 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Да |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
Описание
Система предназначена для анизотропного плазмохимического травления GaN, GaAs, GaP, GaAlAs, InP, InGaAsP, ZnS, CdTe, AlN, InAs, Al и Si с использованием хлорсодержащих и фторсодержащих газов. Система может быть укомплектована CCD-камерой с лазерным датчиком, полностью интегрированной в программное обеспечение. Программное обеспечение позволяет создать многошаговый процесс и полностью автоматизировать его. Новое программное обеспечение COSMA Pulse позволяет реализовывать Bosch-процесс.