Времяпролетный масс-спектрометр вторичных ионов TOF-SIMS 5, ION TOF

Прибор позволяет получить информацию об элементном, молекулярном или изотопном составе поверхности, распределении изотопов/элементов по поверхности, снимать диффузионные профили и т.д. Метод ВИМС основан на взаимодействии поверхности образца с первчными ионами, обладающими некоторой известной энергией, которая частично поглощается образцом и приводит к эмиссии так называемых вторичных ионов. Вторичные ионы впоследствии анализируются при помощи масс-спектрометра, что позволяет определить элементный, изотопный или молекулярный состав поверхности. Площадь столкновения первичных ионов с поверхностью очень мала, что обуславливает высокую точность метода.