Система ионного утонения ЕМ-09100IS Ion Slicer, Jeol

Предназначена для подготовки образцов к исследованию, в основном, в просвечивающих электронных микроскопах. Используемый метод ионного утонения позволяет получить тонкий, прозрачный для пучка электронов, образец, без механической шлифовки, которая может вносить искажения в структуру объекта исследования. Также площадь прозрачного образца, получаемого с помощью Ion Slicer, гораздо больше, чем при применении традиционных методов. Отличительной особенностью данного прибора является то, что он не требует приготовления диска, утоненного в центре. Предварительная пробоподготовка для Ion Slicer заключается лишь в изготовлении параллелепипеда размерами 2.8мм х 0.5мм х 0.1мм, который затем закрывается с тонкого широкого конца специальной защитной лентой и утоняется пучком ионов аргона. Энергия пучка не превышает 8 кВ, а угол падения можно варьировать от 0 до 6 по отношению к наибольшей грани образца. Это позволяет минимизировать радиационные повреждения и, тем самым, сохранить исходные структуру и фазовый состав образца, а после этого изучить их методами электронной микроскопии.