Система мониторинга вакуумных процессов серия PPR (Stanford Research Systems))
17 марта 2020
376
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | США |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Давление на входе 0,01, 0,1, 1,0 или 10 Торр.
Скорость потока 3 × 10-5 Торр-л/с
2-х секундное время отклика (0,1 Торр)
Системы 100, 200 или 300 а.е.м.
Динамический диапазон 6 порядков
Программное обеспечение под ОС Windows
Система мониторинга PPR предназначена для поточного мониторинга и диагностики технологических процессов. К анализатору остаточных газов (RGA) предусмотрены два пути: путь высокой проводимости для контроля базового вакуума и путь снижения давления для контроля процесса при рабочем давлении. Путь снижения давления содержит микроотверстие, которое предназначено для работы при одном из следующих давлений: 0,01, 0,1, 1 или 10 Торр. Он снижает давление образца до рабочего давления RGA (около 10-6 Торр). Это падение давления поддерживается насосной системой, которая состоит из гибридного турбомолекулярного насоса и мембранного насоса. Оба насоса не содержат масла и не загрязняют технологический процесс.
Скорость потока 3 × 10-5 Торр-л/с
2-х секундное время отклика (0,1 Торр)
Системы 100, 200 или 300 а.е.м.
Динамический диапазон 6 порядков
Программное обеспечение под ОС Windows
Система мониторинга PPR предназначена для поточного мониторинга и диагностики технологических процессов. К анализатору остаточных газов (RGA) предусмотрены два пути: путь высокой проводимости для контроля базового вакуума и путь снижения давления для контроля процесса при рабочем давлении. Путь снижения давления содержит микроотверстие, которое предназначено для работы при одном из следующих давлений: 0,01, 0,1, 1 или 10 Торр. Он снижает давление образца до рабочего давления RGA (около 10-6 Торр). Это падение давления поддерживается насосной системой, которая состоит из гибридного турбомолекулярного насоса и мембранного насоса. Оба насоса не содержат масла и не загрязняют технологический процесс.