Система мониторинга технологических газов серия UGAPM (Stanford Research Systems)
17 марта 2020
411
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | США |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Работает от 1 мТорр до 20 Торр.
Системы 100, 200 и 300 а.е.м.
Время отклика <1,5 секунды
Многоточечный анализ
Мульти-диапазонные приложения
Почти нулевой мёртвый объём
Системный прогрев
Системы мониторинга технологических газов серии UGAPM - это современные масс-спектрометры, предназначенные для анализа технологических газов. Они работают в диапазоне от 20 Торр до 1 мТорр. На входе непрерывно отбираются пробы газов с низкой скоростью потока (около 5x10-5 мбар л/с), что делает прибор идеальным для анализа в режиме реального времени.
Приложения UGAPM включают в себя CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD, вакуумное покрытие/ плазменное травление, испарение, осаждение брызг, вакуумную термообработку, целевое горение, обнаружение утечек/ виртуальную утечку/ десорбцию, исследование загрязнений, анализ малых объемов (в диапазоне 0,1 мл) и т.п.
Эти анализаторы просты в эксплуатации и обслуживании. Управление всеми компонентами может осуществляться с передней панели или с удаленного компьютера. В системах UGAPM капилляр из нержавеющей стали с наружным диаметром 1/16 дюйма или 1/8 дюйма используется для отбора проб в среднем вакууме. При такой конфигурации между технологической камерой и анализатором практически нет мертвого объема.
Системы 100, 200 и 300 а.е.м.
Время отклика <1,5 секунды
Многоточечный анализ
Мульти-диапазонные приложения
Почти нулевой мёртвый объём
Системный прогрев
Системы мониторинга технологических газов серии UGAPM - это современные масс-спектрометры, предназначенные для анализа технологических газов. Они работают в диапазоне от 20 Торр до 1 мТорр. На входе непрерывно отбираются пробы газов с низкой скоростью потока (около 5x10-5 мбар л/с), что делает прибор идеальным для анализа в режиме реального времени.
Приложения UGAPM включают в себя CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD, вакуумное покрытие/ плазменное травление, испарение, осаждение брызг, вакуумную термообработку, целевое горение, обнаружение утечек/ виртуальную утечку/ десорбцию, исследование загрязнений, анализ малых объемов (в диапазоне 0,1 мл) и т.п.
Эти анализаторы просты в эксплуатации и обслуживании. Управление всеми компонентами может осуществляться с передней панели или с удаленного компьютера. В системах UGAPM капилляр из нержавеющей стали с наружным диаметром 1/16 дюйма или 1/8 дюйма используется для отбора проб в среднем вакууме. При такой конфигурации между технологической камерой и анализатором практически нет мертвого объема.