Измерительный модуль на базе микроскопа TM3030 Plus, Hitachi
3 сентября 2020
295
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Карелия, Петрозаводск |
Страна производства | Япония |
Год производства | 2018 |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Стоимость предоставления услуг | договорная |
Регламент предоставления услуги | — |
Объект коллективного пользования | Да |
Наличие аккредитации | Да |
Наличие ГОСТированной методики | Да |
Описание
Предназначен для контроля качества процесса производства гибридных многокристальных микросхем. Технические характеристики электронного микроскопа: Увеличение: х15-30 000. Ускоряющее напряжение : 5 кВ, 15 кВ. Перемещение столика : Х: ±35 мм, Y: ± 35 мм. Разрешение: 30 нм. Макс. размер образца: 70 мм в диаметре, 50 мм в высоту.