Автоматическая установка контроля сопротивления Cresbox, Napson

Установка оснащается автоматическим зондом и автоматизированным подложкодержателем. Загрузка подложек осуществляется вручную. Максимальный диаметр обрабатываемых пластин составляет 200 мм. Установка поставляется в комплекте с ПК и специализированным программным обеспечением для проведения измерений. Имеется функция картографирования пластины с заданием до 1225 точек (круглые, квадратные, произвольные карты), создания 2D/3D карт поверхности результатов измерений. Установка способна работать в разных режимах: плоские резы с известной толщиной (SLICE), удельное электрическое сопротивление (BULK), отношение V/I (электрическое сопротивление), поверхностное сопротивление (Sheet). Данное оборудование снабжено функцией автоматического изменения диапазона измерений, а также может самостоятельно проверять корректность работы. Для образцов из кремния есть возможность задать корректирование по параметрам температуры и толщины. Обширный диапазон рабочих материалов, практичный дизайн, простата эксплуатации, способность получать измерения по стандартам ASTM – все это делает возможным использование данного оборудования, как в научно-исследовательской сфере, так и при мелкосерийном производстве.