Установка молекулярно-лучевой эпитаксии ERSTEVAK, Pfeiffer Vacuum
14 февраля 2022
482
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | Австрия |
| Год производства | 2013 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 10 млн руб |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Да |
| Наличие аккредитации | Да |
| Наличие ГОСТированной методики | Да |
Описание
Предназначена для проведения процесса импульсно-лазерного осаждения материалов, а также МЛЭ технологии. Установки позволяют проводить напыление, как прецизионных однослойных покрытий, комбинированных так и многослойных. Толщина и свойства напыляемого покрытия контролируются с помощью RHEED технологии (дифракция быстрых электронов на отражение). Система позволяет работать с образцами от 0,5" до 12" в диаметре. В качестве опций доступны различные конфигурации эксимерных лазеров.