Установка молекулярно-лучевой эпитаксии ERSTEVAK, Pfeiffer Vacuum
14 февраля 2022
239
Классификация оборудования | |
Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
Страна производства | Австрия |
Год производства | 2013 |
Предоставляемое количество | 1 |
Условия использования | |
Стоимостная группа | от 10 млн руб |
Стоимость предоставления услуг | договорная |
Регламент предоставления услуги | — |
Объект коллективного пользования | Да |
Наличие аккредитации | Да |
Наличие ГОСТированной методики | Да |
Описание
Предназначена для проведения процесса импульсно-лазерного осаждения материалов, а также МЛЭ технологии. Установки позволяют проводить напыление, как прецизионных однослойных покрытий, комбинированных так и многослойных. Толщина и свойства напыляемого покрытия контролируются с помощью RHEED технологии (дифракция быстрых электронов на отражение). Система позволяет работать с образцами от 0,5" до 12" в диаметре. В качестве опций доступны различные конфигурации эксимерных лазеров.