Описание
Предназначен для измерения относительных высот профиля поверхности (топограмм) полированных изделий, в том числе подложек сферических зеркал, диаметр которых не превышает 30 мм, высота не превышает 10 мм, а радиус кривизны лежит в диапазоне от 2 м до 7 м. Принцип действия прибора основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от плоского зеркала и поверхности измеряемого изделия. В основе прибора лежит оптическая схема интерферометра Тваймана-Грина. Прибор состоит из двух частей: интерферометра и блока управления и обработки информации.