Система магнетронного напыления Orion 5, AJA
27 января 2025
213
| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | США |
| Год производства | 2016 |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
| Стоимость предоставления услуг | договорная |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Объект коллективного пользования | Да |
| Наличие аккредитации | Да |
| Наличие ГОСТированной методики | Да |
Описание
В установке применяется магнетронные распылители серий Stiletto (высоковакуумное исполнение) и серии A300 (сверхвысоковакуумное исполнение) диаметром 2" или 3", размещённые в камере для конфокального осаждения под фиксированным углом к подложке. Подложкодержатели предназначены для подложек диаметром вплоть до 150 мм и включают конфигурации с охлаждением до температуры жидкого азота или с нагревом до 1000°C.
| Наименование | Страна производства | Условия использования | Расположение |
|---|---|---|---|
| Система временного сращивания пластин XBS300 (SUSS MicroTec) | Германия | Продажа | Москва |
| Система автоматического вращения | США | Аренда, Заказ исследования | Хабаровск |
| Стереолитографическая система Viper si2 SLA | Германия | Аренда, Заказ исследования | Москва |
| Компактная система сборки микрокомпонентов AL300 (Ficontec) | Германия | Продажа | Москва |
| Автоматизированная система сборки и разборки линеек лазерных диодов SL2000 (Ficontec) | Германия | Продажа | Москва |
| Система термообработки пластин EVG 105 | Австрия | Аренда, Заказ исследования | Санкт-Петербург |
| Система пожаротушения переносная ГИРС-400 | РФ | Аренда, Заказ исследования | Ростов-на-Дону |
| Система очистки пластин A-CS-100A (Accretech) | Япония | Продажа | Курск |
| Система ВЭЖХ Turbo 200 LS | США | Аренда, Заказ исследования | Ханты-Мансийск |
| Система искрового плазменного спекания Spark Plasma Sintering 10 tons (Thermal Technology) | США | Аренда, Заказ исследования | Белгород |