| Классификация оборудования | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Страна производства | РФ |
| Предоставляемое количество | 1 |
| Условия использования | |
| Стоимостная группа | от 1 до 10 млн. руб. |
Описание
Максимальная частота следования импульсов: 2000 Гц;
Длина волны: 193.3 нм;
Стабильность энергии импульса, Sigma: < ±10%;
Диапазон регулирования энергии импульса: 3.5–5.5 мДж;
Симметрия вертикального профиля пучка: ≤ 40%.
Длина волны: 193.3 нм;
Стабильность энергии импульса, Sigma: < ±10%;
Диапазон регулирования энергии импульса: 3.5–5.5 мДж;
Симметрия вертикального профиля пучка: ≤ 40%.
