Описание
С помощью агрегатов могут быть решены многие задачи получения и длительного автономного поддержания сверхчистого полностью безмасляного вакуума в диапазоне рабочих давлении от 105 до 10-11 Па в камерах вместимостью от 10-3 до 102 м3. Наиболее эффективно использование созданных агрегатов в вакуумных установках широкого назначения, в системах приборов для научных исследовании, а именно для откачки установок по анализу поверхности твердых тел, установок молекулярно-пучковой эпитаксии, ионной литографии, различных масс-спектрометров, установок по выращиванию монокристаллов, сверхчистых материалов, промышленному созданию электронных и полупроводниковых материалов, для откачки плазмо-химических установок, камер ускорителей заряженных частиц, имитаторов космического пространства, установок термоядерного синтеза и других.
