Экспонирование высокого разрешения (ЦКП «Гетероструктурная СВЧ-электроника и физика широкозонных полупроводников»)

14 сентября 2018
146
Виды услуг
Страна, регион, город Российская Федерация, Москва
Регламент предоставления услуги
Оборудование, с использованием которого выполняется услуга
Ориентировочная стоимость от 2 796 руб.
Наличие аккредитации Нет
Наличие ГОСТированной методики Нет
Описание опыта выполнения аналогичных услуг

Описание

Установка совмещения и экспонирования, при производстве микросхем – разрешение до 0,5 микрон. Размер обработки пластин и подложек - до 100 мм диаметром (пластины) и до 100×100 мм (подложки).