Быстрый термический отжиг пластин до температуры 1200°С в инертной среде (ЦКП «Гетероструктурная СВЧ-электроника и физика широкозонных полупроводников»)
14 сентября 2018
204
| Виды услуг | |
| Страна, регион, город | Российская Федерация, Москва |
| Регламент предоставления услуги | — |
| Оборудование, с использованием которого выполняется услуга | — |
| Ориентировочная стоимость | от 1 037 руб. |
| Наличие аккредитации | Нет |
| Наличие ГОСТированной методики | Нет |
| Описание опыта выполнения аналогичных услуг | — |
Описание
Микроэлектронная промышленность - высокотемпературный постимплантационный отжиг, отжига металлических контактов, пленок и роста оксидных пленок; микроэлектроника, нанотехнологии.