Исследование морфологии поверхности материалов с топографическим и композиционным контрастами и возможностью FIB

Исследование топографии и структуры поверхности, получение изображения во вторичных и обратно - рассеянных электронах. Рентгеноспектральный микроанализ элементного состава с использованием энергодисперсионного спектрометра (EDS). Микроскоп оснащен дополнительной ионной колонной, позволяющей проводить дополнительное изучение образцов, получая изображения путем сканирования сфокусированным ионным пучком по образцу, либо используя пучок ионов для компенсации статического заряда, возникающего на образцах при сканировании электронным пучком.